序號

項目名稱

承擔(dān)單位

項目負(fù)責(zé)人

1

有線晶圓測溫傳感器和五軸磁懸浮分子泵的研制

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

龔利賢

2

國產(chǎn)高端光刻機關(guān)鍵技術(shù)協(xié)同攻關(guān)項目

上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司

謝仁飚

3

集成電路清洗設(shè)備高階干燥模組的研制與應(yīng)用

上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司

許峯嘉

4

基于超短脈沖激光器的硅基CMOS 晶圓切割技術(shù)研究與工藝驗證

上海微高精密機械工程有限公司

高愛梅

5

面向集成電路領(lǐng)域硅晶圓紫外皮秒激光標(biāo)識技術(shù)研究與驗證

上海市激光技術(shù)研究所

張杰

6

高能離子注入機關(guān)鍵技術(shù)研究與樣機驗證

上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司

陳炯

7

10nm銅化學(xué)機械拋光液和14nm大馬士革光刻膠去除劑的研發(fā)

安集微電子科技（上海）股份有限公司

荊建芬

8

大面陣、高動態(tài)CMOS圖像傳感器工藝研發(fā)提升

上海集成電路研發(fā)中心有限公司

趙宇航

9

750V/270A IGBT芯片、模塊開發(fā)及新能源汽車示范應(yīng)用

上海道之科技有限公司

湯藝

10

大功率高密度車用電驅(qū)IGBT模塊研制項目

上海華虹摯芯電子科技有限公司

王曉軍

11

高能氫注入溝槽場終止IGBT工藝平臺開發(fā)

上海積塔半導(dǎo)體有限公司

高東岳

12

車規(guī)級CMOS圖像傳感器芯片研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化

格科微電子（上海）有限公司

馬小妹

13

車規(guī)級寬動態(tài)高清圖像信號處理芯片研發(fā)和應(yīng)用

上海富瀚微電子股份有限公司

高厚新

14

車用電池監(jiān)控芯片和電池管理系統(tǒng)（BMS）控制器研發(fā)及小批量應(yīng)用驗證

上海松岳電源科技有限公司

曾群欣

15

RISC-V動態(tài)可編程16GT/s超高速時序整合芯片研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化

瀾起科技股份有限公司

楊崇和

16

汽車級EEPROM芯片的設(shè)計和產(chǎn)業(yè)化

聚辰半導(dǎo)體股份有限公司

夏天

17

自主可控汽車級EEPROM存儲器芯片研發(fā)與應(yīng)用

上海復(fù)旦微電子集團(tuán)股份有限公司

周泉

18

多功能感知融合三維異質(zhì)集成微傳感系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)研究

上海交通大學(xué)

周亮

19

用于三維異質(zhì)集成的新結(jié)構(gòu)設(shè)計與集成方法研究

復(fù)旦大學(xué)

劉子玉

20

局域場調(diào)制超高速低功耗非易失存儲與計算

復(fù)旦大學(xué)

周鵬

21

基于鐵電效應(yīng)的存算一體化和神經(jīng)形態(tài)計算

華東師范大學(xué)

段純剛

22

基于多值相變存儲的神經(jīng)形態(tài)芯片研究

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

宋志棠